真空機器チャンバーウォール用鍛造製品
一体成形による高真空度が求められる製品に
液晶/半導体製造装置用の大型チャンバーのウォール材は、圧延材を溶接して製造するのが一般的で、製造後にリークテスト等の検査が必要となっています。鍛造品を一体成形する製造法により、圧延材を溶接する場合の付加的費用の発生がありません。
特長
- 1辺2.5メートル超の大型チャンバーが製造可能です。
- 鍛造一体成形品であり、溶接部がないことで強度・真空度に優れます。
- 自由鍛造品なので金型等の治工具不要で、少量多品種対応が可能です（1個から製造可能）。
納入形状
鍛造状態での納入
| 外郭長 | 2,760×3,155mm |
|---|---|
| 内郭長 | 2,320×2,720mm |
| 高さ | 435mm |
| 製品重量 | 2,775kg |
粗加工品での納入
| 外郭長 | 2,210×2,210mm |
|---|---|
| 内郭長 | 2,030×2,030mm |
| 高さ | 665mm |
| 製品重量 | 1,260kg |
製造設備
15,000トン鍛造プレス
鍛造素材ハンドリング用マニプレータ
大型マシニング設備
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